（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201120232682.0 （22）申请日 2011.07.01
（71）申请人 中国恩菲工程技术有限公司
地址 100038 北京市海淀区复兴路12号
（10）申请公布号 CN202164129U
（43）申请公布日 2012.03.14
（72）发明人 严大洲;肖荣晖;毋克力;汤传斌;汪绍芬;姚心 （74）专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 宋合成
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
多晶硅还原炉
（57）摘要
本实用新型公开了一种多晶硅还原
炉，包括：底盘和炉体，所述炉体连接在所述底盘上且在所述炉体与所述底盘之间限定出反应腔室；三十六对电极，所述三十六对电极设在所述底盘上且分别分布在第一、第二、第三和第四圆周，所述第一、第二、第三和第四圆周为以所述底盘中心为圆心且半径依次增大的同心圆周；进气系统，所述进气系统包括设在所述底盘中部的多个喷嘴；和排气系统，所述排气系统包括多个排气口，所述排气口设在所述底盘上且位于所述
第四圆周与所述炉体之间。根据本实用新型实施例的多晶硅还原炉，可以合理利用热能，同时也可以避免炉体内侧壁带走过多热量，可以降低热量损耗。 法律状态
法律状态公告日
2012-03-14
法律状态信息
授权
法律状态
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说明书
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