多晶硅还原炉

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201120085522.8 （22）申请日 2011.03.28

（71）申请人 四川瑞晟光伏材料有限公司

地址 620041 四川省眉山市东坡市修文镇(眉山铝硅产业园区)

（10）申请公布号 CN201962075U

（43）申请公布日 2011.09.07

（72）发明人 李仙寿;吴梅

（74）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 逯长明

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

多晶硅还原炉

（57）摘要

本实用新型实施例公开了一种多晶硅

还原炉，包括炉体和底盘，所述底盘上具有多对均匀分布的电极，所述电极的排布呈蜂窝状，具体为：所述底盘中心具有六个电极，所述六个电极以所述底盘的中心为中心点呈正六边形排布，所述六个电极分别位于所述正六边形的六个顶点处；以所述正六边形为中心，其它电极向外排布，并且，最外层电极的连线近似为以所述底盘的中心为圆心的圆。本实用新型实施例提供的多晶硅还原炉，提高了多晶硅产品的质量，并且，通

过扩展电极的对数，在保证产品质量的同时，还能够降低生产单位质量的多晶硅产品的能量消耗。 法律状态

法律状态公告日

2011-09-07 2011-09-07 2011-11-23 2011-11-23 2017-05-10 2017-05-10 2020-03-17

法律状态信息

授权 授权

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权的无效、部分无效宣告 专利权的无效、部分无效宣告 专利权的终止

法律状态

授权 授权

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权的无效、部分无效宣告 专利权的无效、部分无效宣告 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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