专利名称：一种碳化硅生产用的气相成分检测装置专利类型：实用新型专利发明人：程鹏,于征磊
申请号：CN201921053204.6申请日：20190708公开号：CN210534084U公开日：20200515
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅生产用的气相成分检测装置，包括箱体、气相色谱柱、伸出杆、固定组件和安装组件，所述箱体顶部对称分别开有进样口和出样口，所述伸出杆设有四个，且伸出杆呈环形分布固定在在箱体内壁，所述固定组件设有两个，所述气相色谱柱两端均通过固定组件固定在上下两个伸出杆上，且气相色谱柱的两端通过安装组件分别与进样口和出样口密封连接，相比于传统的气相检测装置来说，传统的气相色谱柱的更换一般采用螺旋状的套筒接口来更换气相色谱柱，需要扳手将其固定，给操作者带来了一定的麻烦，此实用新型采用卡接结构，能让操作者更简单有效的更换气相色谱柱，提高了工作效率。
申请人：天津市卓辉电子有限公司
地址：300000 天津市东丽区华明高新技术产业区弘晟道2号
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容