一种投影物镜光学系统

2021-12-12 来源：欧得旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210091295.9 （22）申请日 2012.03.31

（71）申请人上海微电子装备有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

（10）申请公布号 CN103364928A

（43）申请公布日 2013.10.23

（72）发明人孙文凤

（74）专利代理机构北京连和连知识产权代理有限公司

代理人王光辉

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

一种投影物镜光学系统

（57）摘要

一种投影物镜光学系统，从物面到像面依

次包括：第一透镜组，其光焦度为正；第二透镜组，其光焦度为负；第三透镜组，其光焦度为正；第四透镜组，其光焦度为负；第五透镜组，其光焦度为正；以及光阑，位于第五透镜组之间；其特征在于，该投影物镜系统的有效焦距f、该物面至像面的距离L满足以下条件：

法律状态

法律状态公告日

2013-10-23 2013-10-23 2013-11-20 2013-11-20 2015-09-30 2015-09-30 公开公开

法律状态信息

公开公开

法律状态

实质审查的生效实质审查的生效授权授权

专利权人的姓名或者名称、地实质审查的生效实质审查的生效授权授权

专利权人的姓名或者名称、地2017-12-01

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说明书

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