专利名称:一种P型红外透明导电氧化物薄膜的制备方法专利类型:发明专利
发明人:杨磊,朱嘉琦,郭帅,代兵,杨振怀,舒国阳申请号:CN201510546952.8申请日:20150831公开号:CN105063565A公开日:20151118
摘要:一种P型红外透明导电氧化物薄膜的制备方法,它涉及红外透明导电氧化物薄膜的制备方法,尤其涉及一种P型红外透明导电氧化物薄膜的制备方法。本发明要解决现有的被动式红外探测系统中红外透明导电薄膜不能同时兼顾屏蔽干扰电磁波信号和保持中、远红外波段高透过性的问题。本发明按以下步骤进行:一、焊接;二、清洗;三、镀膜前准备工作;四、在氧气氛中溅射镀膜;五、关机。本发明解决了红外透明导电薄膜不能同时兼顾屏蔽干扰电磁波信号和保持中、远红外波段高透过性的问题。本发明适用于红外透明导电氧化物薄膜的制备领域。
申请人:哈尔滨工业大学
地址:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
国籍:CN
代理机构:哈尔滨市松花江专利商标事务所
代理人:杨立超
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