专利名称：一种ITO靶材的烧结装置专利类型：实用新型专利发明人：刘洪浩
申请号：CN201821322611.8申请日：20180816公开号：CN208704444U公开日：20190405
摘要：本实用新型公开了一种ITO靶材的烧结装置，包括进料口、外壳体、内壳体与蓄水底座，所述外壳体的顶部设置有进料口，且进料口的顶部固定安装有防尘装置，所述外壳体的内部设置有内壳体，所述内壳体内部的两侧皆设置有保温层，且保温层的一侧固定安装有加热硅钼棒，所述内壳体的底部固定安装有电机，所述电机的输出端转动安装有轴杆，且轴杆的两侧皆固定安装有搅拌杆，所述外壳体的底部固定安装有蓄水底座，所述蓄水底座的顶部固定安装有水泵，所述外壳体的表面固定安装有散热装置。本实用新型通过设置有一系列的结构使得该ITO靶材的烧结装置加快ITO靶材的烧结的速度，且还可以进行循环对壳体进行循环的冷却，以便ITO靶材的生产。
申请人：江苏比昂电子材料有限公司
地址：215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号
国籍：CN
代理机构：苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：冯现伟
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