专利名称：一种ITO靶材压紧装置专利类型：实用新型专利发明人：刘洪浩
申请号：CN201821150930.5申请日：20180720公开号：CN208586350U公开日：20190308
摘要：本实用新型公开了一种ITO靶材压紧装置，包括第一绝缘底座和第二绝缘底座，所述第一绝缘底座的顶部等距开设有多个第一螺旋孔，所述第一螺旋孔通过第二固定螺栓与调节板，所述调节板通过第一固定螺栓与第二绝缘底座，所述第二绝缘底座的顶部等距开设有多个第二螺旋孔，所述第一绝缘底座与第二绝缘底座的内部通过伸缩弹簧与压紧块连接。本实用新型中，第一绝缘底座与第二绝缘底座之间设置有调节板，且第一绝缘底座与第二绝缘底座通过伸缩弹簧与压紧块连接，可通过调节调节板的长度来适应不同长度的ITO靶材的压紧，扩大了压紧装置的使用范围，增强适用性。
申请人：江苏比昂电子材料有限公司
地址：215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号
国籍：CN
代理机构：苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：冯现伟
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