专利名称：铟锡镍氧化物靶材及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：柯伯贤,谢承谚,简毓苍,刘砚鸣申请号：CN201910981520.8申请日：20191016公开号：CN112626469A公开日：20210409
摘要：本发明提供一种铟锡镍氧化物靶材及其制造方法。其中，所述铟锡镍氧化物靶材是由铟、锡、镍及氧所组成，其中镍相对于铟、锡和镍的总和的含量和大于0原子百分比且小于或等于3原子百分比，且该铟锡镍氧化物靶材的平均体电阻率小于2×10欧姆－公分。本发明能显著降低铟锡镍氧化物靶材于溅镀一段时间后靶面发生的结瘤现象，故可提升溅镀过程的稳定性并获得高品质的薄膜。
申请人：光洋应用材料科技股份有限公司
地址：中国台湾台南市
国籍：CN
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
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