专利名称：电光调制器及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：罗毅,刘学成,熊兵,孙长征,郝智彪申请号：CN202010021720.1申请日：20200109公开号：CN111061071A公开日：20200424
摘要：本发明公开了一种电光调制器及其制作方法，该电光调制器包括在低介电常数衬底上至下而上依次排列的低介电常数键合层、铌酸锂波导结构、在微波共面波导传输线的基础上加载形成的周期性金属电极。采用本发明能够降低针对电极间距引起的微波损耗。
申请人：清华大学
地址：100084 北京市海淀区清华园1号
国籍：CN
代理机构：北京德琦知识产权代理有限公司
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