（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201820417172.2 （22）申请日 2018.03.27
（71）申请人 苏州原位芯片科技有限责任公司
地址 215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路150号B516
（10）申请公布号 CN208150962U
（43）申请公布日 2018.11.27
（72）发明人 王新亮;马硕;温赛赛;胡慧珊
（74）专利代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 李明
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种用于测量液体粘度的MEMS芯片
（57）摘要
本实用新型提供了一种用于测量液体粘度
的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底，该衬底上设有储液池、位于该储液池上方的悬臂梁、设置在该储液池一侧的液体流道以及与液体流道相连通的滴液口，其中，在该悬臂梁上设有用于静电驱动的第一驱动电极；所述衬底上还设有与所述第一驱动电极对应的第二驱动电极；所述储液池用于收容待测量液体；所述悬臂梁用于测量该液体的粘度变化。本实用新型的MEMS芯片结构更
加简单，生产成本更低，生产效率更高，并且可广泛应用于医疗卫生、石油、化工、冶金、国防等技术领域。另外，采用本实用新型的MEMS芯片能够检测精度，与IC兼容性更高，更适合个人化与家庭化的使用。
法律状态
法律状态公告日
2018-11-27
法律状态信息
授权
法律状态
授权
权利要求说明书
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说明书
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