专利名称：抛光组合物专利类型：发明专利
发明人：细川公一郎,太田庆治,吉田昭一郎申请号：CN201380003983.8申请日：20130328公开号：CN104011155A公开日：20140827
摘要：本发明的抛光组合物为抛光在绝缘层上形成的含钨金属层的抛光组合物，其包括磨粒、从由碘酸、亚碘酸和次碘酸组成的组中选择的一种以上的卤素酸、强酸、氢离子供给剂和水。
申请人：霓达哈斯股份有限公司
地址：日本大阪府大阪市
国籍：JP
代理机构：北京北翔知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容