专利名称：一种具有高可靠性电极的红外发光二极管制作方法专利类型：发明专利
发明人：林志伟,陈凯轩,张永,杨凯,蔡建九,白继锋,卓祥景,姜
伟,刘碧霞
申请号：CN201410457065.9申请日：20140910公开号：CN104201264A公开日：20141210
摘要：本发明公开一种具有高可靠性电极的红外发光二极管制作方法：提供外延层，在外延层第二型导电层上蒸镀金属反射镜，将其键合在基板上；去除外延衬底，露出微粗化层；在微粗化层表面形成粗化形貌；去除部分微粗化层，微粗化层剩余区域制作焊盘电极，而微粗化层的去除区域露出欧姆接触层；在露出的欧姆接触层表面形成扩展电极图形；形成焊盘电极和扩展电极；逐层去除裸露的欧姆接触层、腐蚀截止层直至露出粗化层；在粗化层的裸露区域形成表面粗化形貌；在基板背面蒸镀背电极，裂片即得。本发明有效提高焊台电极的可靠性，解决焊台电极由于粘附性差而容易脱落的问题，也解决打金线时焊台电极下的外延层容易被打碎的封装难题。
申请人：厦门乾照光电股份有限公司
地址：361000 福建省厦门市火炬高新(翔安)产业区翔天路259-269号
国籍：CN
代理机构：厦门市新华专利商标代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容